機器装置・工作機械|FA機器|液晶ガラス基板搬送ロボット 本体
SR99L/SR99K/SR99M
ニデックインスツルメンツ株式会社
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する
- 特徴:
- ・新型高剛性減速機採用により高速化を実現・Z軸分割、またはボールねじ分割不要で、現地復元時間を短縮・安全性向上、高速/高機能化したSC5000コントローラを使用・シートベルトの安定化、ファン位置からの距離短縮することで高いクリーン度を維持
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製品データ
基本情報
Double Arms | SR99L |
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Upper Single Arms | SR99K |
Lower Single Arms | SR99M |
アームの長さ | 877.5 |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1700~+1680 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 1300/1700/2600/3000/3900/4300/4700 |
動作範囲「θ軸」(°) | -185~+185 |
動作範囲「走行軸」(㎜) | 0/700~15700(1000 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 2.18 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 462.5~1500 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 1.26~1.75 |
最高速度「走行軸」(㎜/s) | 2000 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 |
最高速度「最大可搬重量」(㎜) | 50/ARM |
最高速度「手首負荷許容値」(Nm) | 400 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 1670(Z=2600,NotTrack) |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ~1500×1850 |
取扱い会社 | 日本電産サンキョー |