機器装置・工作機械｜FA機器｜液晶ガラス基板搬送ロボット 本体
SR9182E/SR9172E/SR9192E
ニデックインスツルメンツ株式会社
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する
- 特徴：
- ・基板の大型化に対応しつつ、高速化、省エネ機能を強化・世界各国のﾊﾟﾈﾙ生産工場における高い稼働実績
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製品データ
基本情報
| 動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1190～+1190 |
|---|---|
| 動作範囲「Ｚ軸」(㎜) | 1300/1600/1900/2200/2400 |
| 動作範囲「θ軸」(deg) | -140～+185 |
| 動作範囲「走行軸」(㎜) | 0＆300～10200(300pitch) |
| 最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 3.32 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 900 |
| 最高速度「θ軸」(㎜/s) | 2.4 |
| 最高速度「走行軸」(㎜/s) | 3000 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 |
| 最高速度「本体重量」(㎏) | 300/250 |
| 最高速度「ガラスサイズ」(㎜) | ～W1200×L1300 |
| 取扱い会社 | 日本電産サンキョー |
