機器装置・工作機械|FA機器|液晶ガラス基板搬送ロボット 本体

SR8665

ニデックインスツルメンツ株式会社

自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する

特徴:
・S軸、TH2軸、TH1軸、Z軸を独立に動かせ、平行Accessが可能・どんなチャンバーレイアウトにも対応可能で、自由度が高い設計に寄与・1ARM内部まで、大気環境のため、駆動unitへの熱対策が容易・ガラス基板以外に、重量級マスクの搬送が可能・基板外周にハンドパッドがレイアウトできる為、FaceDown搬送に対応・アーム関節のベアリングを減らしグリスのアウトガスを低減・真空用在荷センター取り付け可能モデル
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製品データ

基本情報

真空度(Pa) 1.3×10-5
自由度 4-AXIS(all AC-servo controlled)
動作範囲「S軸」(deg) +/-290 +/-150
動作範囲「Z軸」(㎜) 250~820
動作範囲「θ1軸」(deg) +/-290
最高速度「S軸」(deg./s) 100/115
最高速度「Z軸」(㎜/s) 160~350
最高速度「θ1軸」(deg./s) 100
最高速度「繰り返し精度」(㎜) +/-0.5
最高速度「騒音」(dB) 80 or less
最高速度「本体重量」(㎏) 100
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) ~1500×925 t=0.4~0.7 1700×1100
取扱い会社 日本電産サンキョー

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