機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR9581 Series
ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
| 動作範囲 R軸 | -2925 ～ +185 ° |
|---|---|
| 動作範囲 Z軸 | ～6200 mm |
| 動作範囲 θ軸 | ~140 ～ +185 ° |
| 走行軸 | ～ 16500 mm |
| 最大速度 R軸 *1 | 1.86 rad / sec |
| 最大速度 Z軸 *1 | 1300mm / sec |
| 最大速度 θ軸 *1 | 1.05 rad/ sec |
| 最大速度 走行軸 *1 | ～ 2000 mm / sec |
| 繰り返し精度 | ±0.25 mm |
| 最大可搬重量 | 150 kg / 1Am (HAND含む) |