機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット　本体

SR8673 Series

ニデックインスツルメンツ株式会社

8～10.5世代基板搬送ロボット

特徴：: ・スライダー駆動方式・高精度直進性を実現

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製品データ

製品データ

基本情報

真空度	1.3×10-3 Pa or less
動作範囲　R軸	4725mm
動作範囲　Z軸	～1000mm
動作範囲　θ軸	-185～+140°
最大速度　R軸 *1	3000mm/sec
最大速度　Z軸 *1	400mm/sec
最大速度　θ軸 *1	1.57rad/sec
繰り返し精度	±0.25mm

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