機器装置・工作機械|FA機器|ウェハー搬送ロボット 本体

SR8608

ニデックインスツルメンツ株式会社

特徴:
・高スループットを実現する2アーム×2EndEffector(SR8608シリーズ)・ブーメランアームで最小回転半径確保(小さなフットプリントを実現)・長いZストロークで大バッファー量確保が可能
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製品データ

基本情報

真空度(Pa) 3×10-6
自由度 4-AXIS
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) -340~+360
動作範囲「θ軸」(deg) -95~+185
動作範囲「Z軸」(㎜) 150
最高速度「RR/RL軸」(㎜) 225(2670㎜/sec)
最高速度「θ軸」(deg) 225
最高速度「Z軸」(㎜/s) 100
最高速度「繰り返し精度」(㎜) +/-0.1
最高速度「騒音」(dB) 70 or less
最高速度「本体重量」(㎏) 180(include hand)
最高速度「リーク率」 1×10-6Pa・m3/sec
最高速度「本体外装」 SUS cover, Aluminum cover
最高速度「運転条件」 0~40℃、30~90%
最高速度「保存条件」 -30~70℃、10~95%
取扱い会社 日本電産サンキョー

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