機器装置・工作機械|FA機器|ウェハー搬送ロボット 本体

SR8250

ニデックインスツルメンツ株式会社

特徴:
・Φ300㎜までのウェハーに対応するEndEffector対応・高スループットを実現する2アーム×2EndEffector構成・高い直進性を確保・高分解能アブソリュートエンコーダ付のACサーボモータ使用・安全性向上、高速/高機能SC5000コントローラを使用・ブーメランアームで最小回転半径確保(小さなフットプリントを実現)
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製品データ

基本情報

アームタイプ ダブルアーム/ブーメランタイプ
自由度 4-AXIS
可動範囲「RR/RL軸」(㎜) -300~+300
可動範囲「θ軸」(deg) 360(Endless)
可動範囲「Z軸」(㎜) 300
最高速度「RR/RL軸」(deg/sec) 225(1900㎜/sec)
最高速度「θ軸」(deg/sec) 225
最高速度「Z軸」(㎜/sec) 300
最高速度「繰り返し精度」(㎜) +/-0.1
最高速度「クリーン度」 ISO Class 2
最高速度「本体重量」(㎏) 120
最高速度「騒音」 80 dB or less
取扱い会社 日本電産サンキョー

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03-5740-3000

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