機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR8241
ニデックインスツルメンツ株式会社
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する
- 特徴：
- ・高スループットモデル・独立した2つのEndEffector/2枚同時Pick可能・コンパクトサイズで少ない占有面積・EndEffectorは10mmピッチ・フープと同ピッチ対応で同時2枚ウェハー取置可・低いパスライン・反転軸付き及び多用途対応ハンド・最大5フープ配列までのアクセスを走行軸無く3リンクで対応
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製品データ
基本情報
| 自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
| 可動範囲「回転軸」(deg) | +/-275 |
| 可動範囲「X軸」(㎜) | -750～+750 |
| 可動範囲「Z軸」(㎜) | 470 |
| 可動範囲「θ軸」(deg) | +/-170 |
| 最高速度「回転軸」(rag/sec) | 9.42 |
| 最高速度「X軸」(rag/sec) | 2.44(1952㎜/sec) |
| 最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 720 |
| 最高速度「θ軸」(rag/sec) | 6.54 |
| 最高速度「最大可搬重量」(㎏) | 2 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.05 |
| 最高速度「本体重量」(㎏) | 70 |