機器装置・工作機械|FA機器|ウェハー搬送ロボット 本体

SR8241

ニデックインスツルメンツ株式会社

自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する

特徴:
・高スループットモデル・独立した2つのEndEffector/2枚同時Pick可能・コンパクトサイズで少ない占有面積・EndEffectorは10mmピッチ・フープと同ピッチ対応で同時2枚ウェハー取置可・低いパスライン・反転軸付き及び多用途対応ハンド・最大5フープ配列までのアクセスを走行軸無く3リンクで対応
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製品データ

基本情報

自由度 5-AXIS
可動範囲「回転軸」(deg) +/-275
可動範囲「X軸」(㎜) -750~+750
可動範囲「Z軸」(㎜) 470
可動範囲「θ軸」(deg) +/-170
最高速度「回転軸」(rag/sec) 9.42
最高速度「X軸」(rag/sec) 2.44(1952㎜/sec)
最高速度「Z軸」(㎜/sec) 720
最高速度「θ軸」(rag/sec) 6.54
最高速度「最大可搬重量」(㎏) 2
最高速度「繰り返し精度」(㎜) +/-0.05
最高速度「本体重量」(㎏) 70
最高速度「コントローラ」 SC50000
取扱い会社 日本電産サンキョー

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03-5740-3000

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