機器装置・工作機械|FA機器|ウェハー搬送ロボット 本体

SR8240

ニデックインスツルメンツ株式会社

自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する

特徴:
省スペース、高速作動で、高効率搬送能力を実現
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製品データ

基本情報

自由度 5-AXIS
可動範囲「回転軸」(deg) -270~+450
可動範囲「X軸」(㎜) -432~+432
可動範囲「Z軸」(㎜) 300
可動範囲「θ軸」(deg) ±180
最高速度「回転軸」(rad/sec) 9.42
最高速度「X軸」(㎜/s) 1680
最高速度「Z軸」(㎜/s) 500
最高速度「θ軸」(rad/s) 8.72
最高速度「繰り返し精度」(㎜) +/-0.1
最高速度「本体重量」(㎏) 60
最高速度「コントローラー」 SC5000
取扱い会社 日本電産サンキョー

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03-5740-3000

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