機器装置・工作機械|FA機器|ウェハー搬送ロボット 本体
SR8240
ニデックインスツルメンツ株式会社
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する
- 特徴:
- 省スペース、高速作動で、高効率搬送能力を実現
- この製品に関するお問い合せ
- お問い合せ先
製品データ
基本情報
自由度 | 5-AXIS |
---|---|
可動範囲「回転軸」(deg) | -270~+450 |
可動範囲「X軸」(㎜) | -432~+432 |
可動範囲「Z軸」(㎜) | 300 |
可動範囲「θ軸」(deg) | ±180 |
最高速度「回転軸」(rad/sec) | 9.42 |
最高速度「X軸」(㎜/s) | 1680 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 500 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 8.72 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 60 |
最高速度「コントローラー」 | SC5000 |
取扱い会社 | 日本電産サンキョー |