機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR8220
ニデックインスツルメンツ株式会社
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現します。
- 特徴：
- ・2アーム機構により高スループットを実現・ウェハーの高速入替えやダブルピックが可能・高い直進性を確保・アームとZ軸のバリエーションを組み合わせ、様々な装置に対応可能・2インチ～8インチ共有運用から12インチ仕様の搬送に適用可能
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製品データ
基本情報
| 自由度 | 4-AXIS |
|---|---|
| 可動範囲「R1/R2軸」(㎜) | ショートアームタイプ：-265～+245/標準アームタイプ：-212～+321/ロングアームタイプ：-319～+447 |
| 可動範囲「Z軸」(㎜) | 300/400/450/600 |
| 可動範囲「θ軸」(deg) | 340 |
| 最高速度「R1/R2軸」(rad/sec) | 5.76 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 450 |
| 最高速度「θ軸」(rad/sec) | 6.97 |
| 最高速度「最大可搬重量」(㎏) | 2 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
| 最高速度「本体重量」(㎏) | 60/70/85 |
| 最大速度「コントローラ」 | SC5000 |
| 取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ |
