産業用ロボット
ガラス基板とウェハーの低振動で安定した高速搬送を実現 『産業用ロボット』
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェハにより、低振動で安定した高速搬送を、高度なクリー環境下で実現するとともに、長年の市場実績から、信頼性についての高い評価を頂いています。また、高温環境、真空環境、重量物搬送など、お客様のご要望に合わせたラインナップを豊富に揃えています。
製品詳細
液晶・有機EL用ロボット
基板の大型化に対応しつつ、高速化、省エネ機能を強化。世界各国のパネル生産工場における高い稼働実績。
半導体用ロボット
省スペース、高速作動で高効率搬送能力を実現。
真空用ロボット
真空・高温の環境下でも、信頼性の高い機構で確実な搬送能力を実現。