加工事例 - 微細レーザー加工機 - 微細レーザー加工機ABLASERの加工事例
タンタル酸リチウムウェーハ、タンタル酸リチウム／シリコン 接合ウェーハの微細穴加工
タンタル酸リチウムウェーハ 微細穴加工
- 穴 径 ： 0.027 mm
- 板 厚 ： 0.35 mm
- アスペクト比： 13
タンタル酸リチウム／シリコン 接合ウェーハ 微細穴加工
- 穴 径 ： 0.020 mm
- 板 厚 ： 0.20 mm
- アスペクト比： 10
- 常温ウェーハ接合装置とABLASERの双方の装置を製造・販売する当社だから提案できるプロセス。
- 従来個別のウェーハにそれぞれ穴明け加工後、接合していたプロセスを一挙に効率化。
- 異種材料を接合したワークに同時加工が可能です。しかも穴径φ20μm。
微細加工・接合試作サービス
微細レーザー加工機において、有償で試作サービスを承っております。
お気軽にご相談下さい。
