加工事例 - 微細レーザー加工機 - 微細レーザー加工機ABLASERの加工事例
タンタル酸リチウムウェーハ、タンタル酸リチウム/シリコン 接合ウェーハの微細穴加工
![](/-/media/www-nidec-com/machine-tool/knowledge/case/laser-machines/ablaser/ablaser_01.jpg)
タンタル酸リチウムウェーハ 微細穴加工
- 穴 径 : 0.027 mm
- 板 厚 : 0.35 mm
- アスペクト比: 13
![](/-/media/www-nidec-com/machine-tool/knowledge/case/laser-machines/ablaser-12/abraser-duv-20180514-01.jpg)
タンタル酸リチウム/シリコン 接合ウェーハ 微細穴加工
- 穴 径 : 0.020 mm
- 板 厚 : 0.20 mm
- アスペクト比: 10
![](/-/media/www-nidec-com/machine-tool/knowledge/case/laser-machines/ablaser-12/abraser-duv-20180514-02.jpg)
- 常温ウェーハ接合装置とABLASERの双方の装置を製造・販売する当社だから提案できるプロセス。
- 従来個別のウェーハにそれぞれ穴明け加工後、接合していたプロセスを一挙に効率化。
- 異種材料を接合したワークに同時加工が可能です。しかも穴径φ20μm。
微細加工・接合試作サービス
微細レーザー加工機において、有償で試作サービスを承っております。
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