加工事例 - 微細レーザー加工機 - 微細レーザー加工機ABLASERの加工事例

タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムの加工事例

タンタル酸リチウム(LiTaO3)

  • 穴   径 :0.02 mm
  • ピ ッ チ :0.07mm
  • 板   厚 :0.25mm
  • アスペクト比:12.5

ニオブ酸リチウム(LiNbO3)

  • 穴   径 :0.02 mm
  • ピ ッ チ :0.07mm
  • 板   厚 :0.35mm
  • アスペクト比:17.5
  • 半導体製品で使用される、タンタル酸リチウム、
    ニオブ酸リチウムにφ0.02mmの穴をあけることがます

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