设备装置・机床|FA设备|液晶玻璃基板搬运用机器人 本体

SR8670

尼得科仪器株式会社

特点:
・减小了旋转半径、使全体的占有面积减小・减少了关节数提高了热传导性・真空和大气间的连接部的最小化和R轴的驱动部模块化使维护更容易
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产品数据

基本信息

真空度 5.0×10-3
自由度 4-AXIS(all AC-servo controlled)
动作范围「RR/RL轴」(㎜) -2400~+2530
动作范围「Z轴」(㎜) 670
动作范围「θ轴」(deg) 67~-185
最大速度「RR/RL轴」(deg./S) 45
最大速度「Z轴」(㎜/s) 400
最大速度「θ轴」(deg./s) 72
最大速度「重复精度」(㎜) +/- 0.5
最大速度「噪音」(dB) 80 or less
最大速度「基板尺寸」(㎜) ~3000×3400 t=0.4~0.7
产品搬运公司 日本电产三協

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