设备装置・机床|FA设备|液晶玻璃基板搬运用机器人 本体

SR8665

尼得科仪器株式会社

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点:
・S轴、TH轴、Z轴的独立控制运行、使各轴可同时动作・可适用于任何腔体、具有高自由度的设计・第一ARM为止都保持在大气范围的设计、有利于驱动部的热量处理・除了玻璃基板以外、重量级的MASK也可搬运・吸附位置可根据基板外周定位、进行FaceDown搬运・减少了手臂关节的轴承数以降低润滑油的排气量・可安装真空用载荷传感器
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产品数据

基本信息

真空度 1.3×10-5
自由度 4-AXIS(all AC-servo controlled)
动作范围「S轴」(deg) +/-290 +/-150
动作范围「Z轴」(㎜) 250~820
动作范围「θ1轴」(deg) +/-290
最大速度「S轴」(deg./s) 100/115
最大速度「Z轴」(㎜/s) 160~350
最大速度「θ1轴」(deg./s) 100
最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.5
最大速度「噪音」(dB) 80 or less
最大速度「本体重量」(kg) 100
最大速度「基板尺寸」(㎜) ~1500×925 t=0.4~0.7 1700×1100
产品搬运公司 日本电产三協

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