设备装置・机床｜FA设备｜液晶玻璃基板搬运用机器人 本体
SR8652
尼得科仪器株式会社
- 特点：
- ・可以应对从常温到高温的各种需求・驱动部模块化、易于维护・多达3段的Z轴使高度可动范围加大・控制器小型轻量・独有的降温系统、使其能应对高温环境・R部和本体的分割设计、使其易于保养也易于进入腔体・使用了陶瓷手臂来应对高温环境・ARM驱动部使用了高精度部件和电能回馈机构
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产品数据
基本信息
| 真空度 | 1.33×10-2 |
|---|---|
| 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
| 动作范围「RR/RL 轴」(㎜) | 2720 |
| 动作范围「Z 轴」(㎜) | 465(Solar)/670(LCD) |
| 动作范围「θ轴」(deg) | +140～-185 |
| 最大速度「RR/RL 轴」(㎜/sec) | 2474 |
| 最大速度「Z 轴」(㎜/s) | 400 |
| 最大速度「θ轴」(rads/s) | 2.09 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.2 |
| 最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
| 最大速度「基板尺寸」(㎜) | 1100×1300 t=4～5(Solar) |
| 最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD) |
| 产品搬运公司 | 日本电产三協 |
