设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR99S5 Series
尼得科仪器株式会社
产品数据
基本规格
| 动作范围 Ｒ轴 | -2300 ～ +2300 ㎜ |
|---|---|
| 动作范围 Ｚ轴 | ～4700 ㎜ |
| 动作范围 θ轴 | -185 ～ +185° |
| 动作范围 走行轴 | ～15700 ㎜ |
| 最大速度 Ｒ轴 | 1.92 rad / sec |
| 最大速度 Ｚ轴 | ～1250 ㎜ / sec |
| 最大速度 θ轴 | 1.57 rad / sec |
| 最大速度 走行轴 | ～2000 ㎜ / sec |
| 重复定位精度 | ±0.25 ㎜ |
| 最大有效载荷 | 65 kg / 1Arm (包HAND) |
