设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR8651 Series
尼得科仪器株式会社
产品数据
基本规格
| 真空度 | 1.3×10－5 Pa or less |
|---|---|
| 动作范围 Ｒ轴 | -565 ～ +565 ㎜ |
| 动作范围 Ｚ轴 | ～820 ㎜ |
| 动作范围 θ轴 | -185 ～ +140° |
| 最大速度 Ｒ轴 | 1.22 rad / sec |
| 最大速度 Ｚ轴 | 350 ㎜ / sec |
| 最大速度 θ轴 | 2.09 rad / sec |
| 重复定位精度 | ±0.2 ㎜ |
| 最大有效载荷 | 65 kg / 1Arm (包HAND) |
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