设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体
SR8608
尼得科仪器株式会社
通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。
- 特点:
- ・可实现高速取放的2手臂×2个最大直径(SR8608系列)・飞镖型手臂可实现最小旋转半径(实现较小的占地面积)・用很长的可动距离来确保大的预存量
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产品数据
基本信息
真空度(Pa) | 3×10-6 |
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自由度(附带绝对编码器) | 4-AXIS |
動作範囲「RR/RL轴」(㎜) | -340~+360 |
動作範囲「θ轴」(deg) | -95~+185 |
動作範囲「Z轴」(㎜) | 150 |
最大速度「RR/RL轴」(deg) | 225(2670㎜/sec) |
最大速度「θ轴」(deg/s) | 225 |
最大速度 「Z轴」(㎜/s) | 100 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.1 |
最大速度「噪音」(dB) | 70 or less |
最大速度「本体重量」(kg) | 180(include hand) |
最大速度「漏率」 | 1×10-6Pa・m3/sec |
最大速度「主体外护套」 | SUS cover, Aluminum cover |
最大速度「运行条件」 | 0~40℃,30~90% |
最大速度「储存条件」 | -30~70℃,10~95% |
产品搬运公司 | 日本电产三協 |