设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR8250

尼得科仪器株式会社

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点:
占有空间小,运行速度快,搬送效率高。
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产品数据

基本信息

手臂 双手臂单刀片型
自由度(附带绝对编码器) 4-AXE
可动范围「R軸」(㎜) -300~+300
可动范围「Z軸」(㎜) 300
可动范围「θ軸」(deg) 360
最大速度「R軸」 (第1、2軸轴手臂)225rad/sec(1900㎜/sec)
最大速度「Z軸」(㎜/sec) 300
最大速度「θ軸」(rad/sec) 225
往复精度(㎜) +/-0.1
洁净度 ISO Class 2
产品搬运公司 日本电产三協

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尼得科仪器(深圳)有限公司

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