设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR8230

尼得科仪器株式会社

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点:
占有空间小,运行速度快,搬送效率高。
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产品数据

基本信息

手臂 双手臂单刀片型
自由度(附带绝对编码器) 5-AXES
可动范围「R轴」(㎜) (第1,2轴手臂)534
可动范围「Z軸」(㎜) 300/600
可动范围「θ軸」(deg) 340
最大速度「R轴」(rad/sec) (第1,2轴手臂)5.76
最大速度「Z軸」(㎜/sec) 450
最大速度「θ軸」(rad/sec) 6.98
往复精度(㎜) +/-0.1
洁净度 ISO Class 2
产品搬运公司 NIDEC INSTRUMENTS

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